Hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor, cov tshuab faib khoom cryogenic yuav tsum ua ntau dua li tsuas yog xa cov kua nitrogen lossis argon los ntawm ib qho mus rau lwm qhov. Cov kua dej yuav tsum ruaj khov, huv si, thiab ib theem mus txog rau qhov chaw siv. Txawm tias me me ntawm cov cua sov nkag tuaj yeem tsim cov pa roj flash, kev hloov pauv siab, lossis cov dej noo uas cuam tshuam rau kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem.

Yog vim li ntawdCov Yeeb Nkab Nqus Tsevcov tshuab feem ntau siv rau hauv cov khoom siv semiconductor es tsis txhob siv cov kav dej ua npuas ncauj uas muaj rwb thaiv tsev. Thaum ua ke nrog kev tswj hwm kom zooLub Tshuab Nqus Tsev Dynamic, qhov xau cua sov tag nrho tuaj yeem nyob qis dua 3 W / m thaum tswj hwm qhov ruaj khov mus sij hawm ntev thoob plaws hauv kab hloov pauv.

Rau cov ntawv thov semiconductor, kev rwb thaiv tsev tsis tas yuav saib ua ib txheej passive nyob ib puag ncig lub yeeb nkab. Nws yog ib lub tshuab cua sov uas xav tau kev ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev thiab kev saib xyuas mus sij hawm ntev. Hauv cov chaw tsim khoom siv chip siab, txawm tias qhov kub ntawm cov kua dej nce me ntsis kuj yuav ua rau muaj cov xwm txheej ntws ob theem uas cuam tshuam rau cov voj voog txias, cov tshuab ntxuav, lossis cov khoom siv tswj cov txheej txheem.

Vim Li Cas Qhov Kub Tawm Tseem Ceeb Hauv Cryogenic Semiconductor Systems

Txhua txoj kab hloov pauv cryogenic raug cuam tshuam los ntawm peb hom kev hloov pauv cua sov tseem ceeb:

• kev tawg thoob plaws qhov chaw annular
• kev sib kis ntawm cov pa roj uas tshwm sim los ntawm cov molecules seem
• kev sib txuas khoom khov kho los ntawm kev txhawb nqa thiab spacers

Hauv ib qho kev tsim qauv zooCov Yeeb Nkab Nqus Tsev, lub siab annular feem ntau raug txo qis dua 1 × 10⁻⁴ Pa. Ntawm qib nqus tsev ntawd, cov roj molecule seem muaj txoj kev dawb nruab nrab loj dua qhov sib txawv annular, uas txo cov cua sov gaseous heev.

Kev hloov pauv cua sov ntawm lub hnub ci raug tswj los ntawm kev siv ntau txheej rwb thaiv tsev (MLI). Cov rwb thaiv tsev muaj cov txheej sib hloov ntawm cov ntawv ci ci thiab cov khoom siv sib cais uas tsis muaj hluav taws xob ntau. Yog tias siv cov txheej tuab thiab txoj kev teeb tsa kom raug, cov cua sov ntawm lub hnub ci tuaj yeem txo qis mus rau ob peb watts ib square metre xwb.

Txoj kev thermal uas tseem tshuav feem ntau yog los ntawm cov khoom siv txhawb nqa. Txhawm rau kom txo qhov teebmeem no, cov ntaub ntawv qis-conductivity xws li G-10 fiberglass lossis Torlon® feem ntau yog siv. Cov kev txhawb nqa no tseem xav tau lub zog txaus kom tiv taus kev sib txhuam thermal, kev co, thiab kev thauj khoom av qeeg thaum lub sijhawm ua haujlwm.

Nyob rau ntawm qhov deb ntawm kev hloov pauv mus los, qhov sib txawv ntawm kev rwb thaiv tsev nqus tsev thiab kev rwb thaiv tsev ua npuas ncauj yuav pom tseeb heev. Lub tshuab nqus tsev uas tau saib xyuas zoo tuaj yeem ua kom muaj kev ua haujlwm kub ruaj khov tau ntau xyoo, thaum kev rwb thaiv tsev ua npuas ncauj maj mam nqus cov dej noo los ntawm huab cua. Thaum cov dej noo nkag mus rau hauv cov qauv rwb thaiv tsev thiab khov, kev ua haujlwm kub feem ntau poob qis raws sijhawm.

Hauv cov tshuab faib khoom semiconductor LN₂ uas siv tau tiag tiag,cov kav dej uas muaj cua sovtuaj yeem txo qhov boil-off ntau heev piv rau cov kab ua npuas ncauj ib txwm muaj, tshwj xeeb tshaj yog thaum khiav sab nraum zoov ntev lossis ua haujlwm tas li.

Lub Tshuab Nqus Tsev Dynamic

Ib qho teeb meem nrog cov tsho nqus tsev uas zoo li qub yog tias qhov zoo ntawm lub tshuab nqus tsev yuav maj mam poob qis dua xyoo vim yog cov pa tawm, helium nkag mus, lossis cov pa me me.

Yuav kom daws tau qhov teeb meem no, cov kav dej lojCov Yeeb Nkab Nqus Tsevcov tshuab tuaj yeem nruab nrog ibLub Tshuab Nqus Tsev DynamicFeem ntau lub kaw lus muaj xws li lub twj tso kua mis turbomolecular lossis lub twj tso kua mis scroll uas kho lub tshuab nqus tsev annular kom rov qab zoo li qub.

Cov qib nqus tsev raug saib xyuas tas li siv cov ntsuas cathode txias. Lub twj tso kua mis tsuas yog ua haujlwm thaum lub siab nce dhau qhov chaw teem tseg, yog li kev siv hluav taws xob thiab kev saib xyuas tseem tsawg heev.

Hauv ib qhov project txhim kho semiconductor facility hauv Hsinchu, Taiwan, lub tshuab nqus tsev uas tswj hwm tau ua rau lub taub hau hloov LN₂ qub rov qab ua haujlwm thermal ze li nws qhov xwm txheej ua haujlwm qub yam tsis kaw cov kab ntau lawm. Rau cov project tshiab, kev saib xyuas lub tshuab nqus tsev kuj ua rau cov neeg ua haujlwm ntseeg siab dua rau kev ruaj khov ntawm lub rwb thaiv tsev mus sij hawm ntev thoob plaws lub neej ua haujlwm ntawm lub system.

Cov Khoom Siv thiab Kev Tsim Qauv

Rau cov ntawv thov semiconductor thiab ultra-high-purity, cov yeeb nkab sab hauv feem ntau yog tsim los ntawm 304L lossis 316L stainless hlau. Cov nto sab hauv raug ntxuav, ntxuav, thiab passivated kom ua tau raws li cov kev xav tau kev pabcuam oxygen-huv thiab txo qis kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj.

Lub tsho sab nraud siv tau cov hlau carbon pleev xim lossis hlau tsis xeb nyob ntawm qhov chaw teeb tsa. Hauv cov chaw nyob ib sab ntawm chav huv, cov tsho sab nraud tsis xeb feem ntau nyiam kom tsis txhob muaj xeb lossis ua rau muaj kuab paug rau saum npoo.

Kev sib cog lus ntawm cua sov kuj yuav tsum tau xav txog kom zoo zoo. Ib txoj kab hloov LN₂ tuaj yeem sib cog lus kwv yees li 2.5–3 hli ib 'meter' ntawm qhov kub thiab txias thiab qhov kub ua haujlwm. Txhawm rau kom nqus tau qhov kev txav no, cov khoom siv sib txuas ua ke feem ntau raug teeb tsa ntawm cov chaw txuas uas tau xam thoob plaws hauv lub network kav dej.

Qhov twg xav tau kev txav mus los lossis kev ywj pheej,Lub Tshuab Nqus Tsev Uas Muaj Cov Hose Uas Yooj Yimcov kev sib dhos feem ntau siv. Cov chaw ib txwm muaj xws li kev sib txuas lub tank, kev sib txuas khoom siv, cov ceg manifold, thiab cov txheej txheem txav mus los.

Cov yeeb nkab uas yoog tau no siv lub plawv sab hauv uas muaj cov duab corrugated ua ke nrog lub tsho nqus tsev thiab cov qauv MLI zoo ib yam li cov yeeb nkab nqus tsev ruaj khov. Cov kev sib dhos uas tsim tau zoo tuaj yeem tswj tau qhov nqus tsev tom qab rov ua dua qhov kub thiab txias thaum tseem tiv thaiv kev tsim dej khov sab nraud uas feem ntau tshwm sim ntawm cov yeeb nkab uas tsis muaj rwb thaiv tsev.

Cov Qhov Dej Uas Muaj Cov Khoom Siv Nqus TsevthiabCov Khoom Sib Cais Theem

Kev tswj cov cua sov xau tsis yog tsuas yog cov yeeb nkab ncaj xwb. Cov li qub thiabcov khoom sib cais theemkuj tseem ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tswj hwm cov xwm txheej cryogenic ruaj khov.

A Lub Tshuab Nqus Tsev Uas Muaj Kev Ruaj Ntsegfeem ntau siv lub hau ntev thiab lub cev nqus tsev kom tiv thaiv cov chaw kaw tseem ceeb kom tsis txhob kub dhau heev. Qhov no pab tiv thaiv kom tsis txhob khov nyob ib puag ncig lub qia thiab txo cov dej noo tsis xav tau hauv cov qauv valve.

Yog tsis muaj lub tshuab nqus tsev rwb thaiv tsev, cov qhov dej yuav ua rau muaj cua sov tawm hauv lub cev. Thaum siv cov kua dej cryogenic, qhov no yuav ua rau muaj cov pa dej hauv zos, cov dej ntws tsis ruaj khov, lossis cov dej ntws tsis zoo.

Rau cov txheej txheem semiconductor, cov qhov dej thoob ntiaj teb ntev thiab cov qhov dej nkag sab saum toj feem ntau siv raws li ASME B31.3 thiab EN 13480 cov kev cai.

A Lub Tshuab Nqus Tsev Theem Separatorsiv los tshem tawm cov pa roj ua ntej cov kua nkag mus rau hauv cov khoom siv qis qis. Hauv cov ntawv thov semiconductor, cov dej ntws tsis ruaj khov ob-theem tuaj yeem tsim cov kev hloov pauv siab loj txaus kom ua rau muaj kev ceeb toom txheej txheem lossis cov khoom siv sib txuas.

Feem ntau cov qauv tsim ntawm cov khoom sib cais siv qhov nkag tangential ua ke nrog lub qauv demister sab hauv los txhim kho kev sib cais ntawm cov pa thiab kua dej. Hauv ntau qhov project, cov khoom sib cais no tau muab tso ua ke nrog Mini Tank uas tau teeb tsa ze ntawm pem teb ua haujlwm. Lub mini tank ua haujlwm ua lub ntim buffer hauv zos uas pab tswj kev hloov pauv ntawm qhov xav tau luv luv yam tsis muaj kev ntxiv cua sov.

Piv txwv ntawm qhov project semiconductor

Ib qhov project nthuav dav DRAM hauv Kaus Lim Qab Teb xav tau lub network faib khoom LN₂ tshiab uas muab cov khoom siv sim txias thiab cov cuab yeej ua wafer.

Qhov kev teeb tsa suav nrog kwv yees li 180 meters ntawm Cov Yeeb Nkab Nqus Tsev Uas Ruaj Khoov Txuas nrog ntau ceg cuab yeej los ntawm Kev Sib Dhos Cov Yeeb Nkab Uas Ruaj Khoov. Lub Tshuab Sib Cais Theem Nqus Tsev Uas Ruaj Khoov thiab Lub Taub Hau Me Me 2 m³ tau teeb tsa ze ntawm qhov chaw khaws khoom loj.

Lub Dynamic Vacuum Twj Tso Kua Mis System tswj hwm lub siab annular hauv qab 5 × 10⁻⁶ mbar ntawm cov kab hloov pauv 6-nti tseem ceeb.

Thaum lub sijhawm ua haujlwm, qhov ntsuas cua sov xau ntawm lub taub hau tseem ceeb nruab nrab kwv yees li 1.3 W / m nyob rau hauv cov xwm txheej ua haujlwm ruaj khov. Tom qab ib xyoos ntawm kev pabcuam tas mus li, cov voj voog rov qab los ntawm lub tshuab nqus tsev tsis tu ncua ua rau kev ua haujlwm rwb thaiv tsev ze rau qhov xwm txheej pib.

Piv nrog rau lub tswv yim ua npuas dej ua ntej, lub chaw tau tshaj tawm tias muaj kev poob qis dua ntawm cov kua nitrogen thiab kev ruaj khov ntawm kev ua haujlwm. Cov ntaub ntawv teev cov txheej txheem kuj tsis qhia txog cov xwm txheej ntawm cov dej noo uas cuam tshuam nrog kev puas tsuaj ntawm cov khoom rwb thaiv tsev.

Cov ntawv thov

Cov txheej txheem hloov pauv cryogenic uas muaj lub tshuab nqus tsev yog siv dav hauv kev tsim khoom semiconductor, LNG infrastructure, kev faib roj hauv kev lag luam, thiab kev siv cov kua hydrogen.

Txawm hais tias qhov chaw ua haujlwm sib txawv, lub hom phiaj engineering tseem zoo ib yam:

• tswj kev ruaj khov ntawm lub tshuab nqus tsev
• txo qhov kub nkag mus
• khaws cia qhov ruaj khov theem thoob plaws hauv cov txheej txheem hloov pauv

Kev tsim qauv feem ntau ua raws li cov qauv thoob ntiaj teb xws li ASME B31.3, EN 13480, thiab ISO 21029 nyob ntawm qhov project thiab thaj chaw xav tau.

Rau cov chaw ua haujlwm semiconductor, kev ua haujlwm ntawm lub kaw lus faib khoom cryogenic cuam tshuam ncaj qha rau kev ua haujlwm zoo, kev siv kua, thiab kev ntseeg siab rau cov txheej txheem mus sij hawm ntev. Vim li ntawd, cov kav dej, cov qhov dej, cov khoom sib cais, thiab cov tshuab nqus tsev yuav tsum tau tsim los ua ib lub tshuab cua sov sib xyaw ua ke es tsis yog cov khoom ywj pheej.

At HL Cryogenics, peb ua haujlwm nrog cov neeg cog lus EPC, cov tuam txhab roj, thiab cov chaw tsim khoom semiconductor los tsim cov kev daws teeb meem hloov pauv cryogenic raws li cov xwm txheej ua haujlwm tiag tiag, cov hom phiaj thauj khoom thermal, thiab cov kev cai teeb tsa es tsis yog cov qauv teeb tsa catalog.

Yog tias koj tab tom npaj ib qhov project semiconductor fab tshiab lossis txhim kho lub network faib khoom LN₂ uas twb muaj lawm, peb pab neeg engineering tuaj yeem pab soj ntsuam kev ua haujlwm ntawm qhov xau cua sov, txoj kev nqus tsev, thiab kev teeb tsa lub kaw lus rau kev ua haujlwm mus sij hawm ntev.